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Beeinflussung des Wärme- und Stofftransports bei der Vertical Gradient Freeze-Kristallzüchtung durch ein rotierendes Magnetfeld
2009-12-10
[Electronic ed.]
Technische Universitaet Bergakademie Freiberg Universitaetsbibliothek "Georgius Agricola"
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Technische Universitaet Bergakademie Freiberg Universitaetsbibliothek "Georgius Agricola", Freiberg
Chemie und Physik
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Freiberg
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Bei der Vertical Gradient Freeze-Züchtung von Halbleiterkristallen bis zu einem Durchmesser von 2″ wurde in einer speziell entwickelten Anlage die Beeinflussung des Wärme- und Stofftransports in der Schmelze durch ein rotierendes Magnetfeld (RMF) untersucht. An GaAs- und Ge-Kristallen konnte bei Einwirkung des RMF eine verminderte Durchbiegung der Phasengrenze aufgrund geringerer radialer Temperaturgradienten festgestellt werden. Die Analyse der Segregationsprozesse ergab unter RMF-Einfluss signifikante Änderungen der Ausdehnung der Diffusionsgrenzschicht vor der Phasengrenze. Dies spiegelte sich in einer verbesserten axialen und radialen Homogenität der Ladungsträgerverteilung in den Kristallen wider. Die kritische magnetische Taylor-Zahl, die den Übergang von stationärer zu instationärer RMF-Konvektion charakterisiert, konnte für verschiedene Geometrieverhältnisse der Schmelze experimentell bestimmt werden.
530, 540
UQ 2000
Kristallzüchtung, Magnetfeld, Versuchsanlage, Schmelze, erzwungene Strömung, Transportprozesse, Segregation, Werkstoff, Mikrosegregation, Rotation, Bridgman-Verfahren, Transportprozess
urn:nbn:de:bsz:105-7942462
TU Bergakademie Freiberg
dgg
TU Bergakademie Freiberg, Freiberg
Ulrike
Wunderwald
1966-01-12
aut
Jürgen
Niklas
Prof. Dr.
dgs
rev
Arne
Cröll
Prof. Dr.
rev
Stefan
Eichler
Dr.
rev
ger
2006-07-07
2006-12-01
born digital
Rau
Cornelia.Rau@ub.tu-freiberg.de
doctoral_thesis
Achtung: Keine URN in der Titelaufnahme der DNB, IDN: 983755167
DK 548.52, DK 537.67, DK 66.046.5, DK 378.245