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Räumliche Konzentrationsverteilungen von N2-Triplett-Zuständen im elektrodennahen Plasma einer RF-Niederdruckentladung
2000-04-20
[Electronic ed.]
prv
Universitätsbibliothek Chemnitz
Universitätsbibliothek Chemnitz, Chemnitz
Fakultät für Naturwissenschaften
Im Niedertemperaturplasma einer Stickstoff-Hochfrequenzgasentladung werden mit Hilfe der plasmadiagnostischen Methoden LIF und OES räumliche Konzentrationsprofile der N2-Triplett-Zustände A, B und C in verschiedenen Schwingungsniveaus studiert. Dabei wird die Druckabhängigkeit im Bereich 30 bis 100 Pa und die Abhängigkeit von der Brennspannung bis 250 V untersucht.
Die deutlich unterschiedlichen räumlichen Verteilungen der verschiedenen Spezies werden mit Hilfe einer Modellierung beschrieben, die sowohl Elektronenstoßanregung in der Plasmarandschicht als auch Diffusion, Stoßabregung, Kaskadenprozesse sowie Deaktivierung durch Wandstöße berücksichtigt. Dabei zeigt sich, daß vor allem Wandstöße für die räumliche Verteilung der langlebigen Spezies A(v=0,1) von zentraler Bedeutung sind. Die kurzlebigen C und B finden sich hingegen hauptsächlich in der Plasmarandschicht.
Durch die Kombination der LIF mit Rayleighstreulichtexperimenten werden absolute Teilchendichten der drei Triplett-Zustände bestimmt.
530
620
Hochfrequenzplasma
Konzentration
Laserinduzierte Fluoreszenz
Niederdruckplasma
Modellierung
Stickstoff
Randschicht
Niedertemperatur
Triplett
absolute Teilchendichten
räumliche Konzentrationsverteilung
Kalibration
urn:nbn:de:bsz:ch1-200000269
Technische Universität Chemnitz
dgg
Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
Bert
Krames
aut
ger
2000-04-20
2000-03-24
born digital
doctoral_thesis